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金剛石工具

矽晶圓用斜麵磨削砂輪

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(特點)

用於半導體材料基板的斜麵磨削加工用砂輪。

該產品具有均一而微小的磨粒層結構,並採用高精度的精加工技術,修整后缺陷少、品質好、加工精度高。

除用於加工外周及凹槽的砂輪外,還備有單槽型、多槽型、精粗加工混合型等3種砂輪。

  • 修整少
  • 可進行高精度加工
  • 砂輪的使用壽命長
  • 可降低加工成本

棘轮

(標準選定)

用途 藍寶石加工 矽加工
注重切削鋒利度 標準 注重耐用性
結合劑種類 L-MSF N-MB00 P-MB01 R-MB02

(加工示例)

  矽晶圓斜面磨削 藍寶石晶圓斜麵磨削
外周加工用 砂輪尺寸 φ202×20T×19U×30H×3.7X φ202×20T×19U×30H×3.7X
砂輪規格 SD800/1500 P - MB01 SD400 L - MSF
凹槽加工用 砂輪尺寸 φ3.8×36L×11T×8U×1.4X φ3.8×36L×11T×8U×1.4X
砂輪規格 SD800/1500 P - MB01 SD400 L - MSF